据台媒《经济日报》报道，三星电子副会长李在镕在荷兰访问ASML之后，已经确保取得“额外”的极紫外光（EUV）光刻机设备。报道称，业界认为，ASML是全球唯一的高端芯片制程设备制造商，EUV设备的稳定供给，是三星超车台积电、抢下全球晶圆代工龙头的关键。
据韩媒Business Korea报道，三星15日表示，李在镕14日造访ASML荷兰总部时，拜会了ASML首席执行官Peter Wennink等高管，广泛讨论半导体技术的未来、市场前景及EUV设备的供应，并取得“额外”的EUV光刻机设备。
业界此前传出，去年ASML的EUV设备年度出货量为48台，其中15台由三星夺得，20台由台积电包办。
报道称，今年ASML的EUV光刻机出货量估计为51台，其中三星预定18台，台积电则至少确保22台。
根据韩媒报道，此次三星若能争取到更多EUV机台，则今年至少可获得18台，不过三星未详细说明此次获得的“额外”EUV设备内容。
三星2000年代开始与ASML在半导体制程与设备开发方面进行合作。2012年，三星入股ASML，强化双方伙伴关系。