PFAS联盟致力于开发行业友好型科学 美国半导体制造再受阻

然而，专家们担心，如果不加以控制，半导体行业的繁荣还会产生大量有毒废物。半导体行业是一个污染严重的行业，也是不受监管和监控的有毒 PFAS（即“永久化学物质”）的主要来源，其中一些还会转化为强大的温室气体。

“几乎没有人关注过工业界产生的有毒废物，尽管它增长速度惊人，”Chips Communities United 的成员伦尼·西格尔 (Lenny Siegel) 说。该组织致力于与工业界和政府官员合作，试图制定环境保护措施。

“下次您进行Google搜索或聊天时，您使用的芯片……是以不可逆的方式向环境中释放 PFAS 的方式生产的。”

《卫报》看到的一家美国生产工厂 2022 年的检测数据显示，一些样品的废水中 PFAS 含量高达 78，000ppt。美国环保署对几种常见化合物的法定限值为4ppt。

公共卫生倡导者越来越多地发出警告，呼吁采取简单的保护措施来抑制半导体 PFAS 废物，同时推动该行业寻找更安全的替代品，但制造商已经行动起来。

该联盟的白皮书在决策者中流传，反对制定法规。在一份题为“潜在 PFAS 限制的影响”的文件中，该联盟承认其存在 PFAS 污染，但反复强调法规很少，并反对监测或限制废物的提议。

论文指出，找到更安全的替代品“在某些情况下是不可能的”，并补充说，找到替代品将需要“技术进步倒退几十年”。

该文件大力赞扬行业减少浪费的努力，并表示“如果获得[监管]豁免”，该行业将继续自愿减少污染。

这似乎引起了立法者的注意：可能获得批准的国防法案中的一项两党修正案将使新的半导体制造项目免受环境审查——联邦记录显示，组织 PFAS 联盟的半导体行业协会贸易集团对该立法进行了游说。

半导体行业协会执行董事劳里·博在一份声明中表示，该联盟“是一个纯技术性的努力，由世界各地的行业专家组成，致力于收集所需的数据，以制定基于科学的 PFAS 行业应对方法”。

西格尔表示，《芯片法案》与拜登政府 2021 年控制 PFAS 污染的全面计划相矛盾，政策制定者在很大程度上忽视了对公共卫生的影响。然而，包括马萨诸塞州参议员埃德·马基在内的一群美国参议员最近敦促商务部对芯片生产商实施更严格的监管。

马基说：“公众为该行业提供了超过 500 亿美元的投资，他们应该有理由预期自己不会接触有毒化学物质……或呼吸被污染的空气。”

PFAS 是一类约 15，000 种化学物质，通常用于使产品防水、防污和防热。它们被称为“永久化学物质”，因为它们不会自然分解，并且与癌症、肝脏问题、甲状腺问题、出生缺陷、肾脏疾病、免疫力下降和其他严重健康问题有关。

行业文件指出，生产半导体是一个非常复杂的过程，PFAS 是纳米级多达 1，000 个步骤中使用的必需成分，包括光刻和等离子处理。

生产工厂因向附近的饮用水和空气中排放一系列危险的有毒物质（如三氯乙烯、砷和氯仿）而臭名昭著。硅谷之所以成为美国的“超级基金之都”，很大程度上就是因为该行业的有毒物质问题，当公众压力促使科技公司在海外开设工厂时，它们的生产活动导致这些国家的员工患病。

公共卫生倡导组织绿色科学政策研究所所长阿琳·布鲁姆表示：“这不仅仅是 PFAS，这是一个非常肮脏的行业。”

尽管如此，民主党参议员马克·凯利起草的国防法案修正案将取消对半导体生产项目的环境审查，根据该审查规定，企业必须披露其拟建设施产生的污染类型和数量。

环保组织利用此次审查的机会，敦促商务部要求对 PFAS 废水进行监测和处理，而这目前尚未成为法律要求。

布鲁姆补充道：“将这些工厂免于监管似乎是个很糟糕的想法。”

“这是一个艰难的挑战”

芯片制造过程会将 PFAS 排放到水和空气中。工业界在一系列工艺中使用氟化气体（即 PFAS 气体），而这些气体的毒理学风险在很大程度上尚不清楚。

然而，它们对气候的影响是显而易见的——一旦进入大气，氟化气体就会转化为三氟乙酸，这是一种寿命超过 1，000 年的温室气体。近年来，研究人员对空气、水、人体血液和其他环境中三氟乙酸含量不断增加感到担忧。

尽管工业界会捕获一些氟化气体，但这些气体无法被销毁。有时制造商会尝试焚烧或热销毁这些化学物质，但这通常无法完全消除这些化合物，而且会产生危险的副产品。

“这是一个艰巨的挑战，因为他们使用了很多不同种类的 PFAS，”绿色科学政策研究所的科学和政策助理 Ariana Spentzos 说。“行业说，‘焚烧就没事了’，但事实证明……你只是排放了不同的 PFAS。”

与其他行业一样，芯片制造商已从使用 PFOA 和 PFOS（两种毒性最大的 PFAS 化合物）转向使用较小的替代化学品。PFAS 联盟在其白皮书中吹捧这一转变是其环保管理的证据，但越来越多的研究表明替代 PFAS 化学品同样危险。

西格尔指出，PFBS 是工业废水中常见的替代化合物，其毒性相对较小，但仍然比大多数其他受管制物质毒性大。

一些芯片制造商将捕获的 PFAS 运送到危险废物处理设施。但深井注入设施容易发生泄漏，而其他货物最终被送入焚化炉，这些化学物质只是被排放到周围环境中。

这就是为什么公共卫生倡导者正在推动 PFAS 的替代品而不是废物管理，西格尔说。

“他们想将 PFAS 运送到有许可的处理设施，但我的理解是，在缺乏更多数据的情况下，他们会将其送到有色人种社区进行焚烧，这可能会产生有毒副产品，”他补充道。

芯片制造商游说国会废除监管规定

PFAS 联盟的芯片制造商主要是半导体行业协会的一部分，该协会是一个为生产商进行立法和监管斗争的贸易组织。

文件显示，芯片制造商台积电是一家台湾跨国公司，它每年支付约 16 万美元作为该贸易组织的会员费，每年支付 5 万美元作为该联盟的成员。联邦选举记录详细说明了半导体行业协会如何利用其 PFAS 联盟科学，强调该行业避免 PFAS 监管的理由，去年花费了约 150 万美元游说国会和拜登政府。

今年，该数字预计将远远超过这一数字，其中包括游说废除环境审查的国防法案。

西格尔说：“该联盟极力反对这些措施。”他补充说，尽管业界正在努力寻找替代方案，但“他们正在努力找出在不影响生产的情况下可以采取哪些措施”。

该财团的 Beu 在一份声明中表示，它不能对个别成员的游说行为发表评论。

她表示：“我们仍致力于提供所需的工具，以支持行业对追踪和减少 PFAS 的承诺、替代品的可用性以及进一步减排技术的开发。”

该联盟还在白皮书中声称，从生产流程的某些部分去除 PFAS 需要数年甚至数十年的时间，而且可能无法去除某些化学物质。

斯彭佐斯表示，情况或许如此，“但他们不能袖手旁观”，而应该加大对替代品的研发力度。她指出，马萨诸塞大学将于 2022 年与高科技材料制造商 Transene 合作，快速成功地开发出半导体蚀刻工艺中 PFAS 的替代品。

“他们确实必须创新并为 PFAS 制造更安全的替代品......但这是一个很好的例子，它所花的时间比他们预期的要少得多，”Spentzos 说。