ASML新任CEO近日公开表示，两台High NA EUV光刻机（单台设备的售价约为3.5亿美元）已经在英特尔安装完成了。作为目前全球最先进，也是最贵的光刻机，ASML宝石，High NA EUV光刻机不太可能像最初的EUV光刻机那样出现延迟。
“我们只能期待它相对快速地推出和采用，因为High NA EUV光刻机更像是EUV光刻机的“升级款”，而不是一个全新的产品。”
有趣的是，台积电以成本为由，迟迟不肯接受High NA。在外界看来，这有点像台积电的谈判游戏，也许是在与ASML争夺更好的条件。
这台EUV已于去年年底运抵其位于俄勒冈州的D1X工厂，英特尔计划在2025年年底开始使用该系统进行生产。
