据 TrendForce 援引日经新闻的消息称，Rapidus 从 ASML 订购的 EUV 光刻机预计将于 12 月中旬运抵日本。 这标志着 EUV 技术在日本的首次部署，是日本半导体行业寻求确立主要地位的重要一步。
Rapidus 目前正在北海道千岁市建设一座工厂，计划于 2027 年开始量产 2 纳米芯片。 如果 2 纳米芯片生产成功，该公司还计划购买几台 EUV 设备，并打算建立第二个专门生产 1.4 纳米芯片的生产设施。
为了支持这些业务，ASML 将在千岁市建立一个服务中心。
英伟达公司首席执行官黄仁勋暗示有可能将人工智能芯片生产外包给 Rapidus。 截至 10 月，Rapidus 工厂的施工进度已达 63%，仍在按计划进行，该工厂于 2023 年 9 月开工。
除 Rapidus 外，美光的广岛工厂计划于 2025 年安装 EUV 设备，并于 2026 年实现量产。
台积电在日本的子公司 JASM 也计划在 2027 年将 EUV 光刻技术与第二家晶圆厂整合，该厂将拥有一条 6 纳米生产线。
